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특허받은 실장 기술에 따른 DUV 광학 제품의 고정밀 조정

Jenoptik은 Thüringer Aufbaubank(TAB)가 후원하는 프로젝트의 일환으로 DUV 광학 제품에 대한 응력 없는 실장 기술을 개발했습니다. 이 기술은 접착제 없이 광학 요소를 고정하는 기술입니다.

DUV 정밀 광학 제품
광학 제품에 대한 특허받은 광학 실장 기술은 광학 시스템의 열 응력을 보상합니다. Jenoptik은 다수의 개구수를 가진 DUV 광학 제품용 기술을 특별히 개발했습니다. 새로운 개념은 광학 요소가 10나노미터 미만의 정확도빠르고 견고하고 정확하게 고정될 수 있게 해줍니다.

접착제가 전혀 필요 없으며 스택 가능한 기술(스택 실장)을 사용합니다. 이것은 응력에 의한 복굴절을 줄이고 광학 구성 요소의 안정성을 증가시킵니다. 대물 렌즈는 가장 까다로운 조건에서도 성능을 발휘합니다.

새로운 개념은 귀하가 광학 요소를 정밀하게 장착할 수 있음을 의미합니다. 300미크론 정도의 범위에서 10나노미터 미만의 정확도 로 광축에 수직으로 위치시킬 수 있습니다. 즉, DUV 광학 시스템의 광학 요소를 매우 정확하게 조정하고 잘 고정되었는지 확인할 수 있습니다.

Thüringer Aufbaubank가 프로젝트의 일환으로 후원하는 Jenoptik 기술은 불화칼슘 및 석영 유리와 같은 광학 소재 및 스테인리스 스틸, 알루미늄 및 청동과 같은 실장 소재에 사용됩니다.

품질을 보증하는 유니버설 파면 측정 시스템


파면 측정 시스템을 사용하면 전체 시스템을 빠르고 정확하게 조정하고 검증하여 시간과 비용을 절약할 수 있습니다. Jenoptik은 보편적으로 적용될 수 있는 하나의 측정 시스템에 다양한 측정 원리를 결합하여 개발 시간과 비용이 절감됩니다.

장점

  • 특허 받음: 다수의 개구수를 가진 DUV 광학 제품용으로 특별히 개발됨
  • 접착제 없음: 스택 기반 기술 사용(스택 장착)
  • 강력함: 광학 시스템의 열 응력 상쇄
  • 고정밀: 정확도가 10나노미터  미만인 광학 요소 배치
  • 반복성: 다양한 광학 소재에 기술 적용
  • 비용 절감: 파면 측정 시스템으로 전체 시스템을 신속하게 설정합니다.


적용 분야

  • 반도체 장비: 빔 제어 및 조명 시스템
  • 평판 디스플레이 산업: 마이크로 소재 가공:


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