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반도체 산업 검사 절차를 위한 맞춤형 UV 대물 렌즈

Jenoptik의 UV 대물 렌즈는 엄격한 요건을 충족하며 반도체 업계의 광학 공정 제어 시스템의 성능을 결정하는 요소로 간주됩니다.

주문형 렌즈
Jenoptik은 주문형 UV 대물 렌즈부품과 품질 보증을 위한 개별 광학 모듈을 공급하고 있습니다. 이 제품들은 반도체 산업의 공정 제어 시스템에서 성공적으로 사용되고 있으며 이 분야의 성능을 결정하는 요소로 간주됩니다.

당사의 초정밀 생산 및 시스템 검사 절차는 최대의 이미지 품질을 보장하므로 사용자를 위한 높은 웨이퍼 처리량을 보장합니다. UV 대물 렌즈 및 광학 모듈은 레이저 소스의 최신 개발에 사용할 수 있습니다.   DUV 의 193nm - 266nm까지 적용 이러한 파장(DUV)에서 편광 및 파면 오류는 기술적으로 실현 가능한 범위 내에 있습니다.

Jenoptik은 UV 대물 렌즈 계획부터 시리즈 제작에 이르기까지 전체 공정을 제공합니다. 당사는 고객의 특정 요구 사항에 따라 검사용 대물 렌즈를 개발하고 타당성 조사도 실시합니다. 우리는 귀하의 요구 사항에 정확히 부합할 수 있도록 하기 위해 귀하와 함께 서비스 설명을 정의합니다. 생산 과정에서 당사의 전문가들은 시스템을 목표 사양에 맞추기 위해 매우 정밀한 검사 방법을 사용합니다. 그런 다음 보관, 운송 및 설치와 관련하여 환경 안정성을 입증하기 위해 UV 대물 렌즈에 열적 및 기계적 스트레스를 가합니다. 귀하가 당사 제품에 만족하면 저희는 일련의 생산 과정을 통해 UV 대물 렌즈를 생산하게 됩니다.


장점

  • 주문형: 귀하의 요구 사항에 맞게 최적화된 UV 대물 렌즈
  • 타당성 검사: 설치 위치, 환경 및 응용 분야 조건에서
  • 최대 이미지 품질:  Wavefront error <0.035 lambda. 평광은 1:1000.
  • 성능 결정 요소: 광학 공정 제어 시스템에 이미 성공적으로 사용됨
  • 경험: 25년 이상 반도체 주요 고객사와 거래 
  • 긴 서비스 수명: 낮은 오염물 장착 및 코팅 기술

응용 분야

  • 반도체 산업: 웨이퍼 및 마스크 검사


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