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고정밀, 에너지 효율적인 레이저 분야를 위한 회절 광학 소자

Jenoptik은 특정 레이저 적용 분야 및 시스템 요구 사항에 맞는 회절 광학 소자를 공급합니다. 이를 통해 효율적으로 빛을 형성하고 전반적인 시스템 성능과 유연성을 향상시킬 수 있습니다.

회절 광학 소자: 레이저 빔 형성 및 분할

회절 광학 소자(DOE)는 에너지 효율적인 방식으로 레이저 빔을 형성하고 분할합니다. 빛 손실을 최소화하면서 다양한 적용 분야에 사용할 수 있는 회절 마이크로 광학 제품은 레이저 소재 가공을 위한 생산 시설, 의료용 레이저 치료 및 진단 장비, 조명, 인쇄 기술, 석판 인쇄 등의 분야, 측정 및 계측 시스템에 많이 사용됩니다.  DOE는 주문형 조명을 위한 작업 영역에서 빛을 패턴화하는 데 사용됩니다.  Jenoptik은 스펙트럼 전반에 걸쳐 모든 파장에 대해 DOE를 공급하지만, 당사는 193nm 및 EUV에 대한 독특한 경험을 가지고 있습니다.

믿을 수 있는 시스템 파트너인 Jenoptik은 초기 개념부터 제조 및 시스템 통합에 이르기까지 모든 단계에서 고객을 지원합니다. 당사의 생산 시간은 매우 짧으므로 개발 단계의 시작부터 시리즈 생산까지 귀하의 성공에 기여합니다.

장점

  • 정확성: 당사의 현대적인 생산 방법 및 수년 간의 생산 경험을 통한 고정밀 회절 구조
  • 에너지 효율성: 농도를 제어하기 위한 레이저 빔 형성 및 분할
  • 다목적: 굴절 광학 제품을 회절 광학 제품으로 교체 또는 결합
  • 고객별: 특정 용도에 맞는 회절 광학 소자
  • 유연성:  DOE를 사용하면 조리개에서 위상을 정밀하게 제어하고 복잡한 농도 프로파일을 만들 수 있음

적용 분야

  • 레이저 소재 가공: 용접, 절삭, 새김, 납땜 및 드릴링 작업 중 레이저 빔 형성 및 분할
  • 생의학 기기: 의료용 레이저 치료 및 진단 기기용 회절 광학 소자
  • LIDAR/LADAR 적용 분야: 레이저 빔을 이용한 광학 거리 및 속도 측정
  • 석판 인쇄 및 홀로 그래픽 조명: 마스크 투영 시스템의 빔 균질화, 구조화된 동공 조명, 일반 및 고도 경사면용 균질 필드 조명
  • 광학 센서: 거리 및 위치 센서, 동작 감지
  • 통신: 빔 분할기, 파장 선택 및 실리콘 포토닉스 분야

제품 미리보기 회절 광학 소자(DOE)

Jenoptik의 회절 마이크로 광학 제품의 자세한 정보

회절 광학 소자의 범주

회절 광학 소자(DOE)는 기능에 따라 빔 형성기, 빔 분할기 및 산광기(균질기라고도 함)와 같은 세 가지 범주로 나눌 수 있습니다. 귀하의 적용 분야에 가장 적합한 광학 소자를 선택하는 데 도움을 드리겠습니다. 다양한 DOE들의 기능 및 차이점에 대한 자세한 내용은 당사로 문의하시기 바랍니다.

빔 형성기 및 회절 라인 생성기

빔 형성기

회절 빔 형성기 - 공간적으로 일관된 레이저의 농도 및 위상 프로파일 수정

회절 빔 형성기를 사용하면 공간적으로 일관된 레이저의 농도 및 위상 프로파일을 바꿀 수 있습니다. 입력 빔의 입사 위상 조작을 통해 출력 빔에서 사실상 무한하며, 얼룩이 없는(가장 중요) 농도 프로파일을 얻을 수 있습니다. 이를 위해서는 입력 빔 및 위상 프로파일을 정확하게 알고 있어야 합니다.

레이저 소재 가공 분야, 석판 인쇄 및 홀로그램 조명 분야뿐만 아니라 생의학 기기 및 광학 센서 분야에서 시스템의 성능전반적인 효율성을 최적화할 수 있습니다.

당사의 고성능 빔 형성기를 사용하면 균질한 톱햇, 원형 직사각형 또는 선형 농도 프로파일은 물론 모든 배포 및 형상을 고객의 특정 요구 사항 및 적용 분야에 따라 만들 수 있습니다. 당사는 단일 모드(TEM00) 입력 빔과 완벽하게 호환되도록 빔 형성기를 설계합니다. 당사는 또한 멀티 모드 빔을 통합하기 위해 멀티 모드 레이저와 함께 사용할 수 있는 굴절 또는 회절 산광기 및 균질기를 생산합니다. 이런 기기들의 취급 범위는 DUV에서 LWIR까지의 파장 범위입니다.

회절 라인 생성기

회절 라인 생성기 - 가우스 레이저 빔을 균질한 1차원 톱햇 프로파일로 변환합니다.

솔리드 스테이트 레이저, 파이버 레이저, 다이오드 레이저, 가스 레이저 및 주파수가 2배 또는 3배인 레이저와 같은 단일 모드 레이저는 가우스 빔 프로파일이라는 특징이 있습니다. 이러한 가우스 프로파일은 균질한 조명 분야에는 최적으로 사용할 수 없습니다.

Jenoptik의 회절 라인 생성기는 추가 광학 제품없이 단일 표면 소자를 사용하여 가우스 레이저 빔을 균질한 1차원 톱햇 프로파일로 변환합니다. 균일하고 얼룩이 없는 라인은 반도체 및 얇은 층의 가열 냉각 또는 재결정화와 같은 소재 가공 분야에 이상적입니다. 이러한 유형의 조명은 일반적인 입사 또는 고도로 경사진 평면에서 라인을 생성하도록 설계될 수 있습니다.

빔 분할기

회절 빔 분할기 - 단일 입사 레이저 빔을 여러 비 중첩 빔으로 분리

Jenoptik의 회절 빔 분할기는 단일 입사 레이저 빔을 여러 비 중첩 빔으로 효과적으로 분리합니다. 빔의 간격, 농도 비율 및 대칭 분포는 자유롭게 선택 가능하며 빔 분할기의 반복적 미세 구조에 의해 매우 정확하고 높은 반복성으로 설정됩니다. 이 때 입사 빔의 확산 각도, 직경 및 편광은 변하지 않습니다.

결과적으로 레이저가 방출하는 에너지는 다중 채널 가공을 위해 더 잘 분산되어 효율성과 성능이 모두 향상됩니다. 따라서 당사의 고정밀 회절 마이크로 광학 제품은 예를 들어 색상 분리, 외과 수술 및 계측 분야의 소재 가공과 관련된 LIDAR 적용 분야에 이상적입니다. 또한 고정된 각도 분리 및 전력 비율로 여러 레이저 광선을 사용하여 레이저 용접 중에 더 나은 결과를 얻을 수 있으므로 소재로의 열 전달 등을 최적화할 수 있습니다.

귀하의 특정 적용 분야를 위해, Jenoptik은 편광 빔 분할기를 공급하여 s 편광과 p 편광을 분리하고 농도 비율을 조정할 수 있습니다.

회절 산광기

회절 산광기 - 단색 레이저 빔을 흡수하여 빛을 원하는 패턴으로 산란시킵니다.

Jenoptik의 회절 산광기를 사용하여 단색 레이저 빔을 흡수하고 빛을 원하는 패턴으로 뿌립니다.

회절 빔 분할기와 마찬가지로, 산광기는 입력 빔을 각도 및 농도를 제어할 수 있는 다수의 출력 빔으로 변환합니다. 그러나 빔 분할기와 달리 이러한 빔은 중첩되어 간섭을 일으키므로 분포가 균질한 새로운 빔이 생성됩니다.

따라서 회절 산광기는 굴절 균질기와 유사하게 특정 레이저 빔 형상이 요구되는 레이저 적용 분야에 이상적입니다. 또한 광원으로부터 정의된 거리에서 특정 범위의 균질한 성능을 실현할 수도 있습니다. 광학 소자는 3 ~ 5 %의 균일성을 달성함으로써, 배광의 형태는 원형이나 직사각형 또는 자유롭게 선택할 수 있습니다.

당사의 회절 산광기는 엄격하게 제어되는 빔 각도를 특징으로 하므로 특히 높은 수준의 효율성을 보장합니다. 산광기는 정렬에 예민하지 않으며 입력 빔의 편광에 영향을 미치지 않습니다. 따라서 회절 산광기는 예를 들어 원격 감지 또는 LIDAR/LADAR 분야에서 넓은 영역을 신속하게 감지해야 하는 적용 분야에 이상적입니다. 산광기의 취급 범위는 DUV에서 적외선까지의 파장 범위입니다.

가우스 생성기

가우스 생성기는 엑시머, 질소 또는 다이오드 레이저와 같은 고출력 레이저에 이상적입니다.

Jenoptik의 회절 가우스 생성기는 회절 산광기의 특수한 유형이며 엑시머, 질소 또는 다이오드 레이저와 같은 고출력 레이저에 이상적입니다. 이러너 생성기는 비 가우스 레이저 빔을 정확하게 정의되고 재현 가능한 가우스 원거리 필드 프로파일로 변환합니다.

이러한 농도 프로파일은 중첩되는 레이저 빔 가공에 이상적입니다. 예를 들어 소재 가공 및 의료용 레이저 치료 또는 인쇄 기술 및 측정 시스템에 적합합니다. UV에서 NIR에 이르는 파장에 대해 DOE를 공급할 수 있습니다.

축외 조명용 회절 광학 소자

축외 조명용 회절 광학 소자

다중 극 동공 조명은 마스크 투영 시스템에서 최대 해상도를 이루기 위해 필요합니다. Jenoptik의 회절 광학 소자(DOE)는 극 내부 및 극 사이 모두에서 정확성과 균질성이 높은 이러한 분포를 효과적으로 생성합니다.

당사는 모든 회절 소자에 고품질 소재를 사용합니다. 따라서 집중적인 UV 레이저 조사의 경우에도 서비스 수명이 길어집니다.

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